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2024-08-27訪問量
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品牌 | Microtrac/拜爾 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,航天,汽車,電氣 |
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SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀
SCTS-2000系型雙電測式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改進形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高正確度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
一、主要特點:
1、根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;
2、也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。
3、換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進行測量。
4、由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。
二、基本技術(shù)參數(shù)
3.1 測量范圍
電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm
方 阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□
電 阻:1×10-5~2×105 Ω ,分辨率:1×10-6~1×102 Ω
3.2 材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)
直 徑:圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限
SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.
長(高)度:測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
3.3. 4-1/2 位數(shù)字電壓表:
(1)量程: 20.00mV~2000mV
(2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
3.4 數(shù)控恒流源
(1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100mA,1A
(2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
3.5 四探針探頭(選配其一或加配全部)
(1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調(diào)
(2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調(diào)
3.6 電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<20W
3.7 外形尺寸:
主機 220mm(長)×245 mm(寬)×100mm(高)